产品参数/ Product parameter
产品实物图片：
产品选型：
产品特点：
- RC型水泥机构
- 高稳定度／高精确度，以确保机台本身不受任何外界干扰
- 防震及充分安全的生产环境
- 最精确的生产制程使您及您的客户无后顾之忧
- 安全生产以节省更多后续维修成本
产品优点：在大部分的情况下此一标准不易达到。通常是一些雷射为主，行程较长、聚集点较小的设备才会要求此一振动环境
产品详情：
- 机台有严格的振动规范或设备安装环境地点振动大于设备需求规范，采用主动式隔震设备达到最佳隔震
- 机台有震动需求，没有具体微震等级且机台本身重量不重，以独立脚支撑设备重量并与高架地板作隔离，减少外界对其影响
- 机台有严苛的振动规范及刚性需求，采用高刚性RC结构达到最佳隔震
- 工艺机台设备本身对振动与刚性需求较高，采用高刚性RC结构达到最佳个阵效果，RC结构表面使用洁净室许可的环氧树脂进行处理，光洁度满足洁净室标准，满足设备的要求
特制复合混凝土原料：
- 专为高精准 EUV特制
- 高精细度
- 超高强度混凝土 (11000-15000 psi)制式
产品尺寸：无
产品技术参数：
| 最大位准（u inch/seo） | 制程最小解析度（um） |
|---|
| 125 | 0.1 |
适合机台：微振规范VC-E、F、G
运用行业：应用于抗震与刚性要求比较高的工艺机台设备
